Измерение потока газа при данном способе осуществляют посредством сравнения показаний течеискателя от потока измеряемой течи и заранее известного потока течи сравнения (эталонной).
В качестве течей сравнения следует использовать течи с погрешностью измеренного потока не более ±30%. Потоки измеряемой течи и течи сравнения не должны отличаться друг от друга более чем в 10 раз. Суммарная относительная погрешность измерения потока от течи способом сравнения с известным потоком газа для течей с натеканием в вакуум ±30%, для течей с натеканием в атмосферу ±40%. Область измерения потоков газа данным методом составляет 10-10-10-6 м3∙Па/с.