Измерение потоков способом повышения давления

При данном способе поток контрольного газа определяют измерением изменения давления газа в предварительно отвакуумированном объеме накопления за определенный промежуток времени.

Установка для измерения потоков состоит из объема накопления, калиброванной емкости, средств откачки, системы трубопроводов с клапанами. Основная проблема для этого метода - учет газоотделения в вакууме. Операции по определению потока собственного газоотделения и натекания объема накопления, а также суммарного потока газоотделения и натекания выполняют 2-3 раза, находят их средние арифметические значения и подсчитывают поток контрольного газа от течи. Суммарная относительная погрешность измерения потока от течи способом повышения давления ±30%. Способ применяется для измерения потоков газа в пределах 10^-7-10^-1 м³∙Па/с.